トレンチの成膜
光学薄膜
MEMSデバイス
粉体の成膜/バッテリー
腐食防止
LED
TSV（スルーシリコンビア）
GaNパワーデバイス:
AlNパッシベーションレイヤー、Al2O3,SiO2絶縁膜
透明電極材:
Al-doped ZnO
有機デバイス、有機EL:
Al2O3, TiO2封止膜
生体適合性材料:
TiO2インプラントコーティング、ZrO2
Phonon Super Highway:
電子デバイスのヒートシンク改善、オーバーヒート防止(20℃低減の例もあります）